Introducción del carburo de silicio verde:
El carburo de silicio verde ( SiC verde , fórmula química SiC ) es un abrasivo cristalino sintético de alta pureza, conocido por su extrema dureza, sus afilados bordes de corte y su excelente estabilidad química y térmica. Es el material de mayor calidad entre los abrasivos de SiC, a menudo denominado el «diamante verde» de los abrasivos industriales.
| Propiedad | Carburo de silicio verde |
|---|---|
| Fórmula química | Sic |
| Pureza | 98,5–99,5% SiC (alta pureza ≥99,9%) |
| Dureza de Mohs | 9,2–9,5 (casi diamante) |
| Microdureza | 3200–3600 kg/mm² |
| Densidad | 3,22 g/cm³ |
| Conductividad térmica | 80–140 W/m·K (excelente disipación de calor) |
| Expansión térmica | Bajo |
| Punto de fusión | ~2700°C |
| Estabilidad química | Inerte al agua, ácidos, álcalis y la mayoría de los disolventes. |
| Forma de la partícula | Afilado, robusto, poliédrico; buen autoafilable. |
Ventajas del carburo de silicio verde para el lapeado de obleas
- Dureza y rendimiento de corte superioresCon una dureza Mohs de 9,2 a 9,5, el carburo de silicio verde es mucho más duro que el silicio monocristalino. Presenta bordes de partículas afilados y una excelente capacidad de autoafilado, lo que proporciona una alta tasa de eliminación de material para eliminar eficazmente las marcas superficiales y las capas dañadas en las obleas.
- Tamaño de partícula uniforme y excelente calidad superficial.El polvo fino, rigurosamente seleccionado, presenta una distribución de tamaño de partícula estrecha y baja aglomeración. Produce arañazos finos y superficiales en lugar de cortes profundos, astillamientos o poros, controlando eficazmente los daños subsuperficiales y garantizando resultados de pulido uniformes.
- Excelente estabilidad química y térmica.Químicamente inerte frente al agua, las pastas abrasivas comunes y los aditivos ácidos/alcalinos, no corroe las obleas de silicio. Mantiene una dureza y forma de partícula estables bajo calor por fricción, y su buena conductividad térmica disipa el calor rápidamente para evitar la deformación térmica de la oblea.
- Alta pureza para aplicaciones en semiconductores.Presenta un menor contenido de metales pesados e impurezas en comparación con el carburo de silicio negro. No produce contaminación eléctrica, cumpliendo plenamente con los requisitos de alta pureza para la producción de obleas semiconductoras y fotovoltaicas.
- Buena resistencia al desgaste y rentabilidad.Su baja pérdida por abrasión prolonga la vida útil. Es mucho más rentable que el polvo de diamante, manteniendo un rendimiento de pulido fiable, ideal para la producción en masa. El polvo se disuelve bien en la suspensión, lo que reduce la frecuencia de cambio de fluido.
- Dureza moderadaSu equilibrio entre fragilidad y tenacidad evita que se incrusten partículas finas en la superficie de las obleas, simplificando así los procesos de limpieza posteriores. Es compatible con diversas almohadillas y equipos de pulido para pulido de una o dos caras, biselado de bordes y otros procesos.