Carburo de silicio verde para el pulido de sustratos de semiconductores
El carburo de silicio (SiC) verde es un material abrasivo de alta pureza ampliamente utilizado en el pulido de sustratos semiconductores debido a su excepcional dureza (9,2-9,5 Mohs), estabilidad térmica e inercia química. A continuación, se detalla su función en el pulido de sustratos semiconductores: 1. Propiedades clave del SiC